產(chǎn)品名稱：二硅化鈷（CoSi2）
規(guī)格：0.8-10um（D50）
形貌：不規(guī)則
顏色：黑灰色
特點(diǎn)：電阻率低、良好的熱穩(wěn)定性
用途：大規(guī)模集成電路
中文名稱：硅化鈷
化學(xué)式：CoSi2
分子量：115.104
CAS號(hào)：12017-12-8
EINECS號(hào)：234-616-8
密度：5.3g/cm3
熔點(diǎn)：1277℃
晶格常數(shù)：a=0.535nm
晶系：立方系結(jié)晶
外觀：呈灰色的硅化物陶瓷粉末
溶解性：不溶于水
性質(zhì)與穩(wěn)定性：遵照規(guī)格使用和儲(chǔ)存則不會(huì)分解。CoSi2可與熱的鹽酸作用，溶于鹽酸,不溶于硫酸。能被王水、濃硝酸、強(qiáng)堿溶液及熔融的氫氧化堿和碳酸堿所侵蝕?？膳c硫化氫、氟化氫、氯化氫、氟、氯等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。
合成方法：
按照CoSi2的化學(xué)組成比將鈷粉與硅粉混合均勻，在隔絕空氣的條件下將其熔融，并在1150℃的溫度下保溫100h，使其充分均質(zhì)化，產(chǎn)物為接近單一相的CoSi2。
用途：硅化鈷粉末具有電阻率低、熱穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，主要用于大規(guī)模集成電路。此外，硅化鈷具有類似于硅的晶體結(jié)構(gòu)，因此可以在硅襯底上形成外延CoSi2/Si結(jié)構(gòu)，以研究外延金屬硅的界面特性。硅化鈷(cosix)是金屬與半導(dǎo)體連接所廣泛所采用的材料，其作為半導(dǎo)體之基電極與金屬導(dǎo)線之間的連接(inter-connect)在器件中工作。
貯存方法：保存于干燥、陰涼的環(huán)境中，不宜暴露空氣中，防受潮發(fā)生氧化團(tuán)聚，影響分散性能和使用效果。
